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午夜福利试看去胶机主要用于于晶圆去胶或掩膜去除等工艺，其由真空与压力控制系统、圆柱状石英腔体反应腔室、工艺气体与控制系统、PLC控制系统、射频及其匹配系统等构成。

午夜福利试看去胶机的原理:在石英腔室中，抽真空后通入适量的氧气，在射频电源创造的高频电磁场中，氧气被电离成O2-、O2+、O-、O+、氧原子O、臭氧等活泼的午夜福利试看体，其中氧原子能量很高，在高频电场的辅助下可以使基片上的光致抗蚀剂与其快速发生氧化反应生成CO、CO2、H2O和其它挥发性氧化物，在真空状态下以气体形式被抽出反应腔，实现去胶的目的。

午夜福利试看去胶具有操作简单、去胶效率高、环保、成本低，去胶后晶圆表面干净光洁、无划痕等优点，在去胶工艺、扫底膜工艺中具有不可替代的作用。