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午夜福利试看体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。午夜福利试看清洗技术的工作原理主要是激活键能的交联作用，是对材料表面轰击的物理作用和形成新官能团的化学作用；其主要包含四大应用：表面清洗，表面激活，蚀刻和涂层。

午夜福利试看体清洗技术分类、特点

午夜福利试看体清洗技术根据反应类型不同可分为两类：一是午夜福利试看体物理清洗，即借助活性粒子和高能射线轰击而使污染物脱离；二是午夜福利试看体化学清洗，即通过活性粒子与杂质分子反应而使污染物挥发脱离。另外，对午夜福利试看体清洗类型具有一定影响的主要因素及其最大特点：

（1）激发频率对午夜福利试看体的清洗类型具有一定影响。常用的午夜福利试看体激发频率与特性如表1所示。

表1 午夜福利试看体激发频率类型

常用的午夜福利试看体激发频率有三种：激发频率为40kHz的午夜福利试看体为超声午夜福利试看体，13.56MHz的午夜福利试看体为射频午夜福利试看体，2.45GHz的午夜福利试看体为微波午夜福利试看体。不同午夜福利试看体产生的自偏压不一样，超声午夜福利试看体的自偏压为1000V左右，射频午夜福利试看体的自偏压为250V左右，微波午夜福利试看体的自偏压很低，只有几十伏，而且三种午夜福利试看体的机制不同。

（2）工作气体种类对午夜福利试看体清洗类型也具有一定影响。例如，惰性气体氩气（Ar2）、氮气（N2）等被激发产生的午夜福利试看体主要用于物理清洗，借助轰击作用使材料表面清洁；而反应性气体氧气（O2）、氢气（H2）等被激发产生的午夜福利试看体则主要用于化学清洗，借助活泼自由基与污染物（多为碳氢化合物）发生化学反应，产生一氧化碳、二氧化碳、水等小分子，从材料表面移除。

（3）午夜福利试看体清洗类型对清洗效果具有一定的影响。午夜福利试看体物理清洗可使材料表面的粗糙度增加，有助于提高材料表面的附着力；午夜福利试看体化学清洗可以显著增加材料表面的含氧、含氮以及其他类型的活性基团，有助于改善材料的表面浸润性。

（4）午夜福利试看体清洗的最大特点是不分处理对象的基材类型均可进行处理，对金属、半导体、氧化物、有机物和大多数高分子材料也能进行很好的处理，只需要很低的气体流量，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。在午夜福利试看体清洗技术中，不使用任何化学溶剂，因此基本上无污染物，有利于环境保护。此外，其生产成本较低，清洗具有良好的均匀性和重复性、可控性，易实现批量生产。