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干法去胶主要是利用午夜福利试看去胶机去除光刻胶，原理是利用电离氧气产生的活化氧与光刻胶发生氧化反应并将其氧化成水汽和二氧化碳等排出腔室。午夜福利试看去胶的优点是去胶操作简单、去胶效率高、环保、去胶后晶圆表面干净光洁、无划痕，而且对结构的其它层无损伤。

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RIE午夜福利试看去胶机NE-RE08 NE-RE08是一款干法午夜福利试看去胶设备，适用于4/6/8英寸晶圆光刻胶去除和灰化工艺。设备采用高密度RIE午夜福利试看体刻蚀系统，具有去胶速率快、均匀性好、选择比高、不错的各向异性等性能优势。

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